酸化チタン（TiO₂）ターゲット

光学コーティング

・反射防止膜（AR膜）・増透膜：SiO₂などの低屈折率層と交互に積層し、カメラレンズ、眼鏡レンズ、ディスプレイな
どの反射を低減。
・AR/VR導波路：高屈折率、AR/VR用光導波路コーティングに使用。
・Low-Eガラス：建築・自動車用の省エネガラスや熱遮蔽コーティング。
半導体・電子デバイス
・誘電体・絶縁層：ICや電子部品の絶縁膜、保護膜、介電層として使用。
・先端キャパシタ：10nm世代のTiN/TiO₂積層キャパシタなど、高K材料として検討。