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単結晶シリコン(Si)ターゲット

純度>99.99999%
製造方法:SZ法


集積回路(IC)や大規模集積回路(LSI)などの製造プロセスにおける材料として利用。
スパッタリングなどの技術を用いて、光学デバイスに必要な薄膜を作るためのターゲット材として使用。
センサーや太陽電池、トランスなど、多岐にわたる電子機器の部品としても使用。
液晶製造装置などの製造装置用パーツとしても提供。

集積回路(IC)、大規模集積回路(LSI)
光学デバイスに必要な薄膜形成
センサー、太陽電池、トランス

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株式会社スパッタコア

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