・半導体・エレクトロニクス
・バリア層・密着層
・金属電極・シード層
・光学・装飾コーティング
・光学コーティング: 光学レンズの反射防止膜や光学フィルターの形成に用いられます。
・装飾コーティング
・工具コーティング
・弊社Tiターゲットの特徴
・純度≧5N
・成膜の均一性を確保するため、微細で均一な結晶粒組織が重要視されます。
・合金ターゲット: Ti-Al、Ti-Ni、Ti-Cu、Ti-Crなど合金ターゲットも提供されています。
・具体的な純度や形状（円形・角形・回転型）の仕様が必要であれば、お知らせください。
