株式会社 スパッタコア
Sputtercore Co.,Ltd.
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スパッタリングターゲットとは
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TEL:06-6732-9818
FAX:06-6732-9819
営業時間:平日9:00~17:00
純度:99.5%~99.995%
Hf(ハフニウム)ターゲットは高純度・高融点・高い誘電率など要求され集積回路やトランジスタなどにおける高誘電体ゲート絶縁膜(例:HfO₂膜)の形成。デバイスの高性能化・微細化に不可欠耐熱コーティングレンズやミラー、レーザー、通信機器などに用いられる光学部品の薄膜コーティング形成(弊社使用実績あり)高精度センサーや環境計測機器、医療用センサー薄膜形成薄膜トランジスタ(TFT)やタッチパネル製造におけるスパッタリング工程高性能触媒の製造や化学反応プロセスの最適化