纯度 >99.9% 导电性
密度 ≥90%
真空烧结,高压法
光学コーティング
・反射防止膜(AR膜)・増透膜:SiO₂などの低屈折率層と交互に積層し、カメラレンズ、眼鏡レンズ、ディスプレイな
どの反射を低減。
・AR/VR導波路:高屈折率、AR/VR用光導波路コーティングに使用。
・Low-Eガラス:建築・自動車用の省エネガラスや熱遮蔽コーティング。
半導体・電子デバイス
・誘電体・絶縁層:ICや電子部品の絶縁膜、保護膜、介電層として使用。
・先端キャパシタ:10nm世代のTiN/TiO₂積層キャパシタなど、高K材料として検討。