SiO2蒸着材

純度>99.99%
密度≧99.7%
焼結法

光学コーティング
SiO₂膜は低屈折率（約1.46）と高い透明性を持ち、光学分野で広く利用され
・反射防止膜（AR膜）
・光学フィルター
・保護膜
半導体・電子デバイス

集積回路、絶縁層として不可欠な材料です。
層間絶縁膜
MEMSデバイス
パッシベーション層