氧化铝（Al₂O₃）靶材

纯度>99.9%

密度≥90%

粉末冶金法

芯片制造中的绝缘薄膜、高性能电子元件

传感器、太阳能电池板、显示器等

光学器件、建筑玻璃的表面改性

导电薄膜的形成、太阳能电池