氧化铝（Al₂O₃）靶材

半導体製造核心絶縁、導電層
集積回路IC製造に絶縁層と導電層を成膜し、回路を隔離し、干渉防止
光学デバイス、光学機能膜
太陽光発電；リチウムイオン電池にも使用