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纯度>99.99999%制造方法:SZ法
用作集成电路 (IC) 和大规模集成电路 (LSI) 制造工艺中的材料。用作溅射等技术制备光学器件所需薄膜的靶材。也用作各种电子设备的组件,包括传感器、太阳能电池和变压器。还用作液晶制造设备等制造设备的部件。
集成电路 (IC)、大规模集成电路 (LSI)光学器件所需的薄膜形成技术传感器、太阳能电池、变压器