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多晶硅(Si)靶材

纯度 >99.999%

制造方法:熔融烧结


它可用作化学气相沉积 (CVD) 设备、退火炉和扩散炉等设备的组件。

它适用于对纯度和热性能要求较高的应用,可用作溅射薄膜形成工艺的材料,以及液晶制造设备的组件。

它还用于制造太阳能电池板,例如薄膜硅太阳能电池。

由于其生产成本低于单晶,因此适用于大规模生产,也用于齿轮、传感器和微静电马达等微结构的研究和原型制作。

LCD制造设备中的CVD设备、退火炉、扩散炉和薄膜沉积

薄膜硅太阳能电池和太阳能电池板

齿轮、传感器和微静电马达

多晶硅靶

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