锆（Zr）靶材

・半導体・マイクロエレクトロニクス​

・拡散バリア層​

・高誘電率（High-k）ゲート絶縁膜​

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・工具・耐摩耗コーティング​

・硬質コーティング​

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・光学・ガラスコーティング​

・光学レンズ、反射ミラー、建築用ガラス，​

・反射防止膜や光学フィルターなどに用いられる。​

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・薄膜太陽電池​

・医療インプラント​

・航空宇宙：高温保護コーティング、遮熱コーティング。​

・原子力産業​