高性能なスパッタリング材料であり、その独特な物理的及び化学的性質のため、多くのハイテク分野で広く応用されている。
1.特性
1)高融点と耐高温性
・ニオブの融点は2468°C(純金属ニオブ)に達し、酸化ニオブ(Nb₂O₅)の融点は約1512°Cであり、高温プロセス環境に適している。
2)優れた化学安定性
・ニオブは常温で空気、酸またはアルカリと反応せず、耐食性が強い。酸化ニオブも同様に極めて高い化学不活性を有し、
劣悪な化学環境に適している。
3)高導電性と熱伝導性
・Nbの熱伝導率は54 W/(m・K)(25°C)であり、電子及び半導体業界において優位である。
4)良好な光学性能
・酸化ニオブは高屈折率と低分散特性を有し、光学膜に適している。
5)高純度と均一性
・Nbターゲットの純度は通常≧99.95%であり、結晶粒サイズは20〜50μmに制御でき、組織分布は均一である。
2.主な用途
1)半導体とマイクロエレクトロニクス業界
・高性能絶縁層及びゲート誘電体材料を製造し、集積回路の信頼性を高めるために使用される。
2)光学コーティングとディスプレイ業界
・タッチスクリーン、LCD、省エネガラスなど、反射を減らし、光透過率を高める。
3)太陽電池と太陽光発電産業
・透明導電性薄膜材料として、太陽電池の光電変換効率を向上させる。
4)航空宇宙と耐食性コーティング
・航空機、衛星などのハイエンド設備に適している高温、腐食に強いコーティングをするために使用される。
5)装飾と工具コーティング
・工具や装飾品の耐摩耗性と美観性を向上させる。
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