重要なスパッタリング材料であり、その優れた物理と化学性能のため、半導体、光学、磁性材料などの分野に広く応用されている。
1.特性
1)高純度と緻密性
・Niターゲットの純度は通常≧99.9%(4 N級)、部分的に99.995%(4 N 5)に達し、薄膜堆積の高品質を確保することができる。
・密度が高く(>99%)、結晶粒が均一(平均結晶粒サイズ<20μm)であり、スパッタ成膜の均一性と安定性に有利である。
2)優れた導電性と熱伝導性
・電気伝導率は約14.3×10×10×S/mであり、電子分野の導電性薄膜の製造に適している。
・熱伝導率90〜100 W/(m・K)でスパッタリング中の放熱を助け、ターゲットの過熱を防止する。
3)良好な耐食性と抗酸化性
・常温では空気、酸またはアルカリと反応しにくく、化学腐食性が強い。
4)強磁性及び磁性安定性
・Niは強磁性を有し、キュリー温度は約360°Cであり磁性記憶媒体、センサなどの応用に適している。
5)優れた加工性能
・延性が良く、平面ターゲット、回転ターゲット、異型ターゲットなどの多種の形状に加工でき、様々な成膜に対応する。
2.主な用途
1)半導体とマイクロエレクトロニクス業界
・集積回路を製造するための導電層、溶接層及び磁性薄膜素子。
2)光学コーティングとディスプレイ業界
・Low-Eガラス、自動車コーティング、AR/ARコーティングに応用し、光透過率と耐候性を高める。
3)磁気記憶とセンサー
・ハードディスクドライブ、磁気記録媒体、磁気センサなどの磁性デバイスのための薄膜堆積。
4)太陽電池と太陽光発電産業
・透明導電性薄膜(TCO)の構成要素としての光電変換効率の向上。
5)装飾と工具コーティング
・自動車部品、ジュエリー、刃物などの表面に使用し、耐摩耗性と美観性を強化する。
6)化学触媒と燃料電池
・触媒または電極材料として、水素化反応を促進し、燃料電池の性能を向上させる。
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