高性能なスパッタリングターゲット材料であり、その高融点、高導電性、耐食性及び優れた機械性能により、半導体、光起電力、表示パネル、航空宇宙などの分野に広く応用されている。

１．特性

　１）高融点と耐高温性

・Moは、融点が2620°CでPVD、CVDなどの高温スパッタリングプロセスに適する。

・高温でも優れた機械的強度と化学的安定性を維持することができる。

　２）優れた導電性と熱伝導性

・導電率：約1.9×10×S/m（銅の1/3に近い）、電子業界の導電性薄膜に適している。

・熱伝導率：約＊138 W／（m・K）、スパッタリング中の放熱に役立ち、成膜安定性を高める。

　３）高純度と緻密性

・純度は通常≧99.95%（3 N 5）であり、高純度Moターゲットの一部は99.99%（4 N）に達することができる。

・密度>99%を生じ、結晶粒は均一（＜20μm）であり、スパッタリング中の粒子飛散を低減する。

　４）良好な耐食性と抗酸化性

・常温では酸、アルカリ腐食に強いが、高温（>600°C）では酸化しやすく、不活性雰囲気または真空環境で使用する必要がある。

　５）高い機械的強度と耐摩耗性

・硬度が高く（HV≒250）、耐摩耗性が良く、高エネルギースパッタリングに適している。

２．主な用途

　１）半導体と集積回路

・導電層：銅の拡散を防止するための銅相互接続（Cu-Mo）用バリア層。

・電極材料：TFT-LCD、OLEDなどの表示パネルに用いられる電極膜。

　２）太陽電池（太陽光発電業界）

・バック電極材料：CIGS（銅インジウムガリウムセレン）薄膜太陽電池に用い、光電変換効率を高める。

・透明導電性薄膜（TCO）：酸化亜鉛（ZnO）または酸化インジウムスズ（ITO）と組み合わせて使用する。

　３）表示パネル（TFT-LCD、OLED）

・ゲート、ソース、ドレインの導電性薄膜材料として。

・フレキシブルディスプレイ用の曲げ可能な電極（モリブデン薄膜は低応力特性を有するため）。

　４）航空宇宙と耐高温コーティング

・エンジンブレード、ロケットノズルなどの高温部品のための耐熱性、耐摩耗性コーティング。

　５）工具コーティングと装飾コーティング

・工具、金型の耐摩耗性と耐食性を向上させる。

・高級腕時計、ジュエリーの耐摩耗コーティングに使用され、光沢と耐久性を強化します。

　６）原子力産業と医療設備

・高融点および低熱膨張係数のため、X線ターゲット、原子炉材料に使用される。