高純度クロム(Cr)からなるスパッタリングターゲット。
主にマグネトロンスパッタリング、電子ビーム蒸着などの物理蒸着(PVD)プロセスに用いられ、クロム薄膜または合金コーティングを製造する。
1.特徴
1)物理特性
・高融点
・高硬度
・優れた熱伝導性
・化学特性
・優れた耐食性
・良好な導電性
2.主な用途
1)半導体・マイクロエレクトロニクス業界
・集積回路(IC)導電経路
リソグラフィマスク板:クロム薄膜はその高分解能と高コントラストを有しており、リソグラフィプロセスに用いられる。
2)太陽光発電業界
3)装飾・保護コーティング
4)自動車部品
5)建築とインテリア
6)工業用耐摩耗コーティング
7)光学と表示技術
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