クロム(Cr)ターゲット

クロム(Cr)ターゲット
クロム(Cr)ターゲット

高純度クロム(Cr)からなるスパッタリングターゲット。

主にマグネトロンスパッタリング、電子ビーム蒸着などの物理蒸着(PVD)プロセスに用いられ、クロム薄膜または合金コーティングを製造する。

 

1.特徴

 1)物理特性

・高融点

・高硬度

・優れた熱伝導性

・化学特性

・優れた耐食性

・良好な導電性

 

2.主な用途

 1)半導体・マイクロエレクトロニクス業界

・集積回路(IC)導電経路

リソグラフィマスク板:クロム薄膜はその高分解能と高コントラストを有しており、リソグラフィプロセスに用いられる。

 2)太陽光発電業界

 3)装飾・保護コーティング

 4)自動車部品

 5)建築とインテリア

 6)工業用耐摩耗コーティング

 7)光学と表示技術