アルミ(Al)ターゲット

アルミ(Al)ターゲット
アルミ(Al)ターゲット

高純度アルミ材料で、主に真空コーティング産業のスパッタリングコーティングプロセスで使用され良好な導電性、高反射率などの特徴を有し、

半導体、光学、装飾コーティングなどの分野に広く応用されている。

 

1.特徴

 1)優れた導電性と熱伝導性

 2)高反射率

 3)良好な耐食性

 

2.主な用途

 1)半導体と電子業界

・集積回路(IC):チップを製造するための導電層と配線、信号伝送効率を確保する。

・ディスプレイ(LCD/OLED):薄膜トランジスタ(TFT)用の電極材料。

・ストレージ:ハードディスク、フラッシュメモリなどの金属化層。

 2)光学コーティング

 3)装飾と保護コーティング

 4)航空宇宙

 5)光起電力と新エネルギー

・太陽電池:電極または反射層として、光電変換効率を高める。