单晶硅靶材是一种高纯度、高结晶质量的硅材料,主要用于**半导体、光伏、光学镀膜和科研领域。以下是其具体用途:
1. 半导体制造
- 集成电路(IC)与微电子器件
- 在先进制程(如FinFET、GAA晶体管)中,用于沉积硅基导电层或牺牲层。
-硅化物薄膜
- 与金属(如Ti、Co、Ni)反应生成硅化物(TiSi₂、CoSi₂等),用于降低接触电阻,提升器件性能。
2. 光伏(太阳能电池)
薄膜太阳能电池
通过PVD(磁控溅射)或CVD(化学气相沉积)制备**非晶硅(a-Si)或微晶硅(μc-Si)薄膜,用于硅基薄膜太阳能电池的吸收层或窗口层。
- 在钙钛矿太阳能电池中,可作为电子传输层(ETL)或缓冲层的材料来源。
3. 光学镀膜
红外光学器件
抗反射涂层
4. 显示技术
OLED柔性显示
- 在柔性衬底上沉积硅薄膜,用于驱动背板的薄膜晶体管。
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