晶硅靶材是一种高度、高量的硅材料,主要用于**体、光伏、光学膜和科研。以下是其具体用途

1. 体制造

- 集成路(IC)与微子器件 

- 在先制程(如FinFETGAA晶体管)中,用于沉硅基导电层 

-硅化物薄膜

- 与金属(如TiCoNi)反生成硅化物(TiSi₂CoSi₂等),用于降低接触阻,提升器件性能。 

2. 光伏(太阳能池)

薄膜太阳能

PVD(磁控射)或CVD(化学气相沉)制**非晶硅(a-Si)或微晶硅(μc-Si)薄膜,用于硅基薄膜太阳能池的吸收或窗口 

- 钙钛矿太阳能池中,可作为电传输层ETL)或的材料来源。 

3. 光学

外光学器件

抗反射涂

4. 示技

OLED柔性

 

- 在柔性底上沉硅薄膜,用于驱动背板的薄膜晶体管。