一、TeO靶材的基本特性

1. 化学组成与结构 

   - 主要成分为TeO（氧化碲），可能包含TeO₂（二氧化碲）或非化学计量比化合物。 

   - 晶体结构通常为非晶态或低结晶度，适合制备均匀薄膜。 

2. 光学特性 

   - 高折射率（n≈2.0-2.5），适用于高折射率光学镀膜。 

   - 宽透光范围（可见光至中红外波段），可用于红外光学器件。 

   - 光敏性：在紫外光照射下可能发生结构变化，适用于光刻胶或光存储材料。 

3. 电学特性 

   - 半导体性质（禁带宽度~3.5 eV），可用于透明半导体薄膜。 

   - 电阻可调：通过掺杂（如Sb、Bi）可优化导电性。 

4. 热稳定性 

   - 熔点较低（TeO₂熔点~733°C），适合低温沉积工艺（如热蒸发、溅射）。 

5. 机械与化学稳定性 

   - 较脆，需优化靶材烧结工艺以提高强度。 

   - 在常温下化学性质稳定，但易溶于强酸或强碱。 

二、TeO靶材的主要用途

1. 光学镀膜 

   - 高折射率涂层：用于相机镜头、激光镜、光纤通信器件。 

   - 红外窗口材料：制造红外探测器、热成像仪的光学元件。 

2. 光电子器件 

   - 光波导：利用其高折射率制作集成光学器件。 

   - 光存储介质：基于TeO的光敏性开发可擦写光盘（如DVD-RW）。 

3. 半导体与传感器 

   - 透明导电薄膜（TCO）：掺杂后用于柔性显示或太阳能电池电极。 

   - 气体传感器：对NOx、H₂S等气体敏感，用于环境监测。 

4. 功能玻璃与智能材料 

   - 硫系玻璃（Chalcogenide Glass）：用于红外透镜、光开关。 

   - 相变存储器（PCM）：与GeSbTe（GST）材料结合，用于高速存储设备。 

5. 催化与新能源 

   - 光催化：在紫外光下分解有机污染物。 

   - 热电材料：优化后可用于废热发电。