钌酸锶（SrRuO₃，简称SRO）是一种具有钙钛矿结构的导电氧化物材料，因其独特的物理和化学性质，在多个领域（尤其是薄膜制备和电子器件中）作为靶材被广泛应用。以下是其主要特性和用途的详细说明：

一、钌酸锶靶材的特性

1. 导电性与金属性 

在室温下表现为金属导电性，电阻率较低（约200–300 μΩ·cm），适合作为电极材料。

导电性可通过掺杂或应变调控，兼容氧化物电子器件的需求。

2. 化学稳定性

在高温和氧化环境中稳定性优异，不易与常见氧化物材料（如铁电、介电材料）发生反应。

可作为缓冲层，防止基底与功能层之间的扩散。

3.结构兼容性

钙钛矿结构与许多功能材料（如PZT、BTO等铁电材料）晶格匹配，能外延生长高质量薄膜。

可作为过渡层改善后续薄膜的结晶质量。

4. 磁性 

具有铁磁性（居里温度约160 K）

5.热稳定性

高温下（>600°C）仍能保持结构稳定，适合高温沉积工艺（如脉冲激光沉积PLD、磁控溅射）。

二、钌酸锶靶材的主要用途

1.电极材料

铁电器件：用于铁电存储器（FeRAM）、压电器件的底部电极，因其与PZT等材料的界面兼容性。

电容器：在高介电常数薄膜电容器中作为导电层。

2.多功能薄膜的缓冲层/过渡层

在复杂氧化物异质结（如超导薄膜、多铁性材料）中减少晶格失配和界面缺陷。

3.自旋电子学器件

利用其铁磁性，用于磁性隧道结（MTJ）或自旋阀器件的组成部分。

4.催化与传感器

作为催化剂的载体或活性组分（如电解水析氧反应），或高温气体传感器材料。