镍铬(NiCr)靶材的特性与用途
镍铬(NiCr)靶材是一种由镍(Ni)和铬(Cr)组成的合金溅射靶材,通常以 Ni80wt%:Cr20wt% 或 60wt%:40wt%的比例制备。由于其优异的电学、热学和化学性能,广泛应用于电子、航空航天、能源等领域。以下是其详细特性和用途
1. 镍铬靶材的特性
(1) 物理特性
高熔点(~1400°C):适用于高温溅射工艺,稳定性强。
良好的电阻率(~1.1 μΩ·m):可精确调控,适用于精密电阻薄膜。
低温度系数(TCR):电阻值随温度变化小,适用于高稳定性电路。
优异的机械强度:耐磨损,适合长期溅射使用。
(2) 化学特性
抗氧化性强
耐腐蚀性优异
良好的附着性
2. 镍铬靶材的主要用途
(1) 电子与半导体行业
薄膜电阻(Thin Film Resistors):用于高精度电路(如手机、计算机主板)。
集成电路(IC)
传感器
(2) 航空航天与军工
高温传感器涂层
抗腐蚀镀层
(3) 能源与光伏
太阳能电池电极
燃料电池双极板涂层
(4) 工业与装饰镀层
耐磨涂层
装饰性镀层
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