镍靶材是一种重要的溅射镀膜材料,因其优异的物理和化学性能,广泛应用于半导体、光学镀膜、磁性材料等领域。以下是镍靶材的主要特性和用途
一镍靶材的特性
1. 高纯度和致密性
- 镍靶材的纯度通常≥99.9%(4N级),部分可达99.995%(4N5),确保薄膜沉积的高质量。
- 致密度高(>99%),晶粒均匀(平均晶粒尺寸<20μm),有利于溅射成膜的均匀性和稳定性。
2. 优异的导电性和导热性
- 电导率约14.3×10⁶ S/m,适用于电子行业导电薄膜的制备。
- 热导率90-100 W/(m·K),有助于溅射过程中的散热,防止靶材过热。
3. 良好的耐腐蚀性和抗氧化性
- 在常温下不易与空气、酸或碱反应,适用于化学腐蚀性较强的环境。
4.铁磁性和磁性稳定性
- 镍具有铁磁性,居里温度约360°C,适用于磁性存储介质、传感器等应用。
5. 优良的加工性能
- 延展性好,可加工成平面靶、旋转靶、异型靶等多种形状,满足不同镀二
二镍靶材的主要用途
1. 半导体与微电子行业
- 用于制备集成电路的导电层、焊接层及磁性薄膜元件。
2. 光学镀膜与显示器行业
- 应用于Low-E玻璃、汽车镀膜、AR/AR涂层,提高透光率和耐候性。
3. 磁性存储与传感器
- 用于硬盘驱动器、磁记录介质、磁传感器等磁性器件的薄膜沉积。
4. 太阳能电池与光伏产业
- 作为透明导电薄膜(TCO)的组成部分,提升光电转换效率。
5. 装饰与工具镀膜
- 用于汽车零件、珠宝、刀具等表面镀层,增强耐磨性和美观性。
6.化学催化与燃料电池
- 作为催化剂或电极材料,促进氢化反应或提升燃料电池性能。
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