镍(Ni)靶材

镍(Ni)靶材
镍(Ni)靶材

靶材是一种重要的膜材料,因其异的物理和化学性能,广泛用于半体、光学膜、磁性材料等域。以下是靶材的主要特性和用途

 

靶材的特性

 

1. 度和致密性

   - 靶材的度通常≥99.9%4N),部分可达99.995%4N5确保薄膜沉的高量。 

   - 致密度高(>99%),晶粒均匀(平均晶粒尺寸<20μm),有利于射成膜的均匀性和定性。 

2. 异的导电性和导热 

   - 电导14.3×10⁶ S/m,适用于子行业导电薄膜的制 

   - 热导90-100 W/(m·K),有助于程中的散,防止靶材过热 

3. 良好的耐腐性和抗氧化性 

   - 在常温下不易与空气、酸或碱反,适用于化学腐强的境。 

4.磁性和磁性定性 

   - 具有磁性,居里温度360°C,适用于磁性存感器等用。 

5. 良的加工性能 

   - 延展性好,可加工成平面靶、旋靶、异型靶等多种形状,足不同镀二

 

 

二镍靶材的主要用途

1. 体与微子行 

   - 用于制集成路的导电层及磁性薄膜元件。 

2. 光学膜与示器行

   - 用于Low-E玻璃、汽车镀膜、AR/AR,提高透光率和耐候性。 

3. 磁性存感器 

   - 用于硬盘驱动器、磁记录、磁感器等磁性器件的薄膜沉 

4. 太阳能池与光伏产业

   - 透明导电薄膜(TCO)的成部分,提升光电转换效率。 

5. 与工具 

   - 用于汽零件、珠宝、刀具等表面镀层,增强耐磨性和美性。 

6.化学催化与燃料

   - 催化极材料,促进氢化反或提升燃料池性能。