氧化铌(Nb₂O₅)靶材

氧化铌(Nb₂O₅)靶材
氧化铌(Nb₂O₅)靶材

氧化靶材(Nb₂O₅)是一种高性能陶瓷材料,具有独特的物理和化学性,广泛用于半体、光子、涂域。以下是其核心特性和主要用途:

 

一、氧化靶材的特性

1. 高化学定性 

   - 常温下酸、碱等化学物出极强的惰性,适用于腐境。

2. 异的学性能 

   - 高介常数,使其成绝缘层和栅介的理想材料。 

   - 良好的化学定性,适用于池和容器等设备

3. 高熔点(~1512°C 

   - 耐高温,适用于高温膜工,如PVD(物理气相沉)和CVD(化学气相沉)。

4. 出色的光学性能 

   - 高折射率、低色散特性,适合光学膜(如光片、抗反射涂)。

5. 度与致密性 

   - 度可达99.9%以上,密度4.47 g/cm³,确保射薄膜的高量。

 

二、氧化靶材的主要用途

1. 体行 

   - 用于制造高介常数(高-k绝缘层,提升集成路性能。

2.  

   - 光通信器件(如光波)、光器、示面板(如OLED触控)。

3. 光学 

   - 镜头光片、低射玻璃(Low-E玻璃),减少热辐射。

4. 耐高温与防腐涂 

   - 航空航天发动机涂、化工设备护层

5. 新能源 

   - 薄膜太阳能池的透明导电层,提高光电转换效率。