氧化铌靶材(Nb₂O₅)是一种高性能陶瓷材料,具有独特的物理和化学性质,广泛应用于半导体、光电子、涂层技术等领域。以下是其核心特性和主要用途:
一、氧化铌靶材的特性
1. 高化学稳定性
- 常温下对酸、碱等化学物质表现出极强的惰性,适用于腐蚀性环境。
2. 优异的电学性能
- 高介电常数,使其成为半导体绝缘层和栅介质的理想材料。
- 良好的电化学稳定性,适用于电池和电容器等储能设备。
3. 高熔点(~1512°C)
- 耐高温,适用于高温镀膜工艺,如PVD(物理气相沉积)和CVD(化学气相沉积)。
4. 出色的光学性能
- 高折射率、低色散特性,适合光学镀膜(如滤光片、抗反射涂层)。
5. 高纯度与致密性
- 纯度可达99.9%以上,密度约4.47 g/cm³,确保溅射薄膜的高质量。
二、氧化铌靶材的主要用途
1. 半导体行业
- 用于制造高介电常数(高-k)绝缘层,提升集成电路性能。
2. 光电子领域
- 光通信器件(如光波导)、光电探测器、显示面板(如OLED触控层)。
3. 光学镀膜
- 镜头涂层、滤光片、低辐射玻璃(Low-E玻璃),减少热辐射。
4. 耐高温与防腐涂层
- 航空航天发动机涂层、化工设备防护层。
5. 新能源应用
- 薄膜太阳能电池的透明导电层,提高光电转换效率。
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