氧化铟靶材是一种重要的功能材料,具有独特的物理化学性质,广泛应用于多个高科技领域。以下是其特性和用途的详细说明:
一、氧化铟靶材的特性
1.电学性能
- 纯In₂O₃为n型半导体,禁带宽度约3.5-3.7 eV,掺杂后电阻率可低至10⁻⁴ Ω·cm。
- 高载流子迁移率,适合透明导电薄膜制备。
3. 光学性能
- 可见光区(380-780 nm)透光率>85%,红外区反射率高,紫外区吸收强。
- 折射率约2.0,可用于光学涂层设计。
4. 热学与机械性能
- 熔点约1910°C,热膨胀系数与玻璃基板匹配,适合高温沉积工艺。
- 高硬度(莫氏硬度6-7),但脆性较大,需谨慎加工。
5. 化学稳定性
- 耐酸碱腐蚀,在常温下不溶于水和有机溶剂,高温下可与强酸反应。
二、氧化铟靶材的主要用途
1. 透明导电薄膜(TCF)
- 应用领域:触摸屏(智能手机、平板)、液晶显示器(LCD)、OLED、太阳能电池电极。
- 优势:高透光率+低电阻,替代传统金属电极。
2. 光伏产业
- 用于薄膜太阳能电池(如CIGS、钙钛矿电池)的透明前电极,提升光吸收和电流收集效率。
3. 节能镀膜
- 建筑玻璃Low-E镀膜:反射红外线以调节室内温度,降低能耗。
4. 气体传感器
- 对CO、NO₂等气体敏感,用于环境监测和工业安全设备。
5. 特殊功能涂层
- 抗静电涂层:电子设备屏幕、防电磁屏蔽膜。
- 防雾涂层:汽车玻璃、相机镜头。
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