铟靶材的特性和用途
铟靶材是一种重要的溅射镀膜材料,主要由高纯金属铟(In)制成,因其独特的物理和化学性质,广泛应用于半导体、显示面板、太阳能电池等领域。以下是铟靶材的主要特性和用途:
一、铟靶材的特性
1. 优异的导电性和光透性
- 铟的电阻率低(~8.37×10⁻⁸ Ω·m),适合制作透明导电薄膜(如ITO靶材)。
- ITO(氧化铟锡)薄膜可见光透过率>95%,紫外线吸收率≥70%,广泛应用于液晶显示器(LCD)和触摸屏。
2. 低熔点与高沸点
- 铟的熔点仅 **156.61°C,沸点高达 **2080°C**,适用于低温镀膜工艺,同时能在高温环境下保持稳定性。
3. 良好的延展性和可塑性
- 铟比铅还软,可压成极薄的金属片(如铟箔),适用于精密镀膜和真空密封材料。
4. 化学稳定性与耐腐蚀性
- 常温下不易氧化,但高温下会形成氧化膜,可用于耐腐蚀涂层。
- 铟镀层能抵抗海水侵蚀,常用于船舶反光镜和真空设备。
5. 高纯度与均匀性**
- 工业级铟靶材纯度通常≥ **99.995%(4N5)**,部分可达 **99.9999%(6N),确保薄膜沉积的高质量。
二、铟靶材的主要用途
1. ITO靶材(液晶显示与触摸屏)**
全球70%的铟用于生产ITO靶材,用于制造LCD、OLED、等离子电视等透明导电电极。
- 还用于触控屏、节能玻璃、汽车显示屏等。
2. 半导体与微电子行业
- 用于制造PNP锗晶体管、红外探测器(如锑化铟)、光电器件等。
- 在集成电路中用作导电层或焊料。
3. 太阳能电池(CIGS薄膜电池)
- 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池具有高光电转换效率(接近晶体硅电池),且成本更低。
4. 航空航天与核工业
- 用于制造中子检测器、核反应堆控制棒(铟合金)。
- 作为宇航设备的高真空密封材料。
5. 工业镀膜与装饰涂层
- 轴承镀铟可延长使用寿命5倍以上。
- 用于镜面反射涂层、珠宝装饰镀层等。
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