铬靶材的特性与用途
铬靶材(Chromium Target)是一种由高纯度铬(Cr)制成的溅射靶材,主要用于物理气相沉积(PVD)工艺,如磁控溅射、电子束蒸发等,以制备铬薄膜或合金涂层。以下是其主要特性和用途:
1. 铬靶材的特性
物理特性
高熔点
高硬度
优良的导热性
化学特性
优异的耐腐蚀性
良好的导电性
2. 铬靶材的主要用途
半导体与微电子行业
集成电路(IC)导电路径
光刻掩膜板:铬薄膜因其高分辨率和高对比度,用于光刻工艺。
光伏行业
3装饰与防护涂层**
汽车零部件
建筑与家居装饰
4工业耐磨涂层
5光学与显示技术