铬(Cr)靶材

铬(Cr)靶材
铬(Cr)靶材

靶材的特性与用途

 

靶材(Chromium Target)是一种由高Cr)制成的射靶材,主要用于物理气相沉PVD)工,如磁控射、子束蒸等,以制备铬薄膜或合金涂。以下是其主要特性和用途:

 

1. 靶材的特性 

物理特性

高熔点 

高硬度 

良的导热

化学特性

异的耐腐 

良好的导电 

 

2. 靶材的主要用途

体与微子行

集成路(IC导电路径

光刻掩膜板薄膜因其高分辨率和高比度,用于光刻工 

光伏行

3与防** 

零部件

建筑与家居装

4耐磨涂 

5光学与示技