金锡(Au-Sn)靶材是一种重要的合金溅射靶材,主要由金(Au)和锡(Sn)组成,常见的合金比例为Au80Sn20(共晶成分)或Au70Sn30等。以下是其特性和主要用途的详细说明:
一特性
1.低熔点与共晶特性
共晶成分(如Au80Sn20)的熔点约为280°C,适合低温焊接和封装工艺,避免高温对敏感元件的损伤。
共晶合金在熔化和凝固时成分均匀,减少相分离风险。
2.优异的导热与导电性
3.高抗腐蚀性
4.良好的机械性能
5.润湿性优异
二主要用途
1.半导体封装
芯片贴装(Die Attach):用于功率器件、激光二极管等高温或高可靠性场景的焊接材料。
气密封装:光电组件(如LED、激光器)的陶瓷或金属壳密封。
2.微电子互连
3.光电子器件
4.航空航天与医疗
5.薄膜沉积
通过溅射制备Au-Sn合金薄膜,用于柔性电路或特殊涂层。
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