铝钛（Al-Ti）靶材是一种由铝（Al）和钛（Ti）组成的合金溅射靶材，广泛应用于 磁控溅射（PVD） 、 电子束蒸发 等薄膜沉积工艺。其独特的合金特性使其在 刀具涂层、装饰镀膜、半导体、光学镀膜 等领域具有重要作用。 

 一、铝钛靶材的特性  

  1. 高纯度与低杂质  

- 工业级铝钛靶材纯度通常≥99.9%，高端应用（如半导体）可达 99.99% 以上。 

- 严格控制氧（O）、氮（N）、碳（C）等杂质含量，部分应用要求氧含量<200ppm。 

  2. 优异的硬度和耐磨性  

- 铝钛合金可形成 金属间化合物（如Al3Ti、AlTi） ，具有高硬度（HV 800-1200），适用于刀具涂层（如AlTiN）。 

- 在氮气（N₂）环境下溅射，可形成超硬 氮化铝钛（AlTiN） 涂层，显著提高切削工具的寿命。 

  3. 良好的耐腐蚀性  

- 钛的加入增强铝的抗腐蚀能力，适用于 海洋环境、化工设备 等耐蚀镀层。 

  4. 可调成分比例  

- 常见配比： Al-10%Ti、Al-30%Ti、Al-50%Ti （原子比），不同比例影响硬度、导电性和溅射性能。 

- 高铝含量（Al≥50%）靶材可采用 真空熔铸 生产，而高钛含量（Ti≥50%）需采用 粉末冶金 工艺。 

  5. 高密度与均匀微观结构  

- 采用 热等静压（HIP） 或 真空熔炼（VIM） 工艺，确保靶材致密度>98%，晶粒细小（<100μm），提高溅射稳定性。 

 二、铝钛靶材的主要用途  

  1. 刀具与机械加工涂层  

- 用于 切削工具（铣刀、钻头） 镀膜，形成 AlTiN 涂层，提高耐磨性和高温稳定性。 

- 在模具表面镀AlTi合金，增强抗磨损能力，延长使用寿命。 

  2. 装饰镀膜  

- 用于 手表、珠宝、电子产品 的装饰性镀层，提供金属光泽和耐刮擦性能。 

  3. 半导体与电子行业  

- 作为 集成电路（IC） 的金属化层，提高导电性和抗电迁移性能。 

- 在 平板显示器（TFT-LCD） 中用作电极材料，替代传统Al-Si-Cu合金。 

  4. 光学镀膜  

- 用于 Low-E（低辐射）玻璃 镀膜，提高隔热性和透光率。 

- 在 镜头、太阳能电池 中作为减反射膜或导电层。 

  5. 航空航天与高温应用  

- 用于 航空发动机部件 的耐高温涂层，提高抗氧化性能。