铝钪（Al-Sc ）靶材

铝钪靶材的特性及用途

铝钪靶材（Al-Sc Target）是由铝（Al）和钪（Sc）组成的合金溅射靶材，主要用于物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）工艺。

钪（Sc）作为稀土元素，能显著提升铝合金的性能，使其在半导体、航空航天、光学、新能源等领域具有广泛应用。 

一、铝钪靶材的特性

1. 物理与化学特性

高纯度（≥99.9%~99.999%）适用于高端半导体制造，减少杂质对薄膜性能的影响。 

轻质高强：密度低（约2.7 g/cm³），但强度显著高于纯铝，适用于航空航天轻量化需求。 

优异的导电性与导热性适用于电子器件中的导电层和散热层。 

高熔点（1541°C，钪的熔点）：提高合金的高温稳定性，适用于高温环境。 

耐腐蚀性：钪的加入增强铝的抗氧化能力，适用于恶劣环境。 

2. 微观结构优势

晶粒细化：钪能抑制晶粒长大，形成细小均匀的晶粒结构，提高材料的强度、韧性和抗疲劳性。 

Al₃Sc析出相：增强合金的抗蠕变能力，适用于高温应用。 

3. 加工性能

可制成多种形状

良好的溅射均匀性：适用于高精度薄膜沉积，如半导体晶圆制造。 

二、铝钪靶材的主要用途

1. 半导体与微电子行业

5G/6G射频滤波器：用于制备氮化铝钪（ScAlN）压电薄膜，提升信号滤波性能。 

集成电路（IC）互连层：替代传统铝薄膜，降低电阻，提高芯片性能。 

MEMS传感器：用于声学传感器（麦克风、扬声器）和指纹识别器件。 

2. 航空航天

飞机结构材料

航空发动机涂层：耐高温氧化，延长涡轮叶片寿命。 

卫星组件：提高抗辐射和耐腐蚀性能。 

3. 光学与光电子

高反射镜：用于激光器、望远镜，提高光学反射率。 

LED制造：作为导电层，提高发光效率。 

4. 新能源

太阳能电池电极：提高光电转换效率。 

燃料电池：用于电极涂层，增强耐腐蚀性。 

5. 医疗与生物技术

医疗植入物涂层:提高生物相容性和耐腐蚀性。