酸化物ターゲット各材料の詳細については下記写真をクリック下さい。
Al₂O₃
IAO
In₂O₃
In₂O₃+Cu
ITO
Nb₂Ox
NiO
SrRuO₃
TeO
TeSeO
TiO₂
V₂O₅
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