1.特性
1)化学組成と構造
・主成分はTeO(酸化テルル)であり、TeO₂(二酸化テルル)または非化学量論的化合物を含む場合がある。
・結晶構造は通常アモルファスまたは低結晶性で、均質な薄膜の作製に適している。
2)光学特性
・屈折率が高く(n≈2.0-2.5)、高屈折率光学コーティングに適している。
・広い光透過範囲(可視~中赤外域)、赤外光学デバイスに使用可能。
・感光性:紫外線照射により構造変化を起こすことがあり、フォトレジストや光貯蔵材料に適している。
3)電気的特性
・導体的性質(禁制帯幅~3.5eV)、透明半導体膜に使用可能。
・抵抗は調整可能
導電性はSb、Biなどの添加により最適化できる。
4)熱安定性
・低融点(TeO₂融点~733℃)、低温蒸着プロセス(例:熱蒸着、スパッタリング)に適している。
5)機械的および化学的安定性
・脆いため、強度を向上させるためにターゲット焼結プロセスを最適化する必要がある。
・室温では化学的に安定だが、強酸や強塩基には溶けやすい。
2.主な用途
1)光学コーティング
・高屈折率コーティング:カメラレンズ、レーザーミラー、光ファイバー通信機器に使用。
・赤外線窓材:赤外線検出器、赤外線カメラ光学部品の製造。
2)オプトエレクトロニクスデバイス
・光導波路:高屈折率を利用して集積光デバイスを作る。
・光記録媒体:TeOの感光性を利用して、書き換え可能な光ディスク(DVD-RWなど)
3)半導体とセンサー
・透明導電膜(TCO):フレキシブルディスプレイや太陽電池の電極用。
・ガスセンサー:NOx、H₂Sなどのガスに感応し、環境モニタリングを行う。
4)機能性ガラスとスマート材料
・カルコゲナイドガラス:赤外線レンズ、光スイッチに使用される。
・相変化メモリ(PCM):GeSbTe(GST)材料と組み合わせ、高速ストレージデバイスに使用。
5)触媒作用と新エネルギー
・光触媒作用:紫外線による有機汚染物質の分解。
・熱電材料:廃熱生成に最適化された材料。
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