ニッケル（Ni）とバナジウム（V）からなる高純度合金スパッタリングターゲットであり、主にマグネトロンスパッタリング（PVD）と電子ビーム蒸着などの薄膜蒸着プロセスに用いられる。その独特な成分と性能は半導体、電子、航空宇宙、太陽光発電などの分野で重要な位置を占める。

１．特性

　１）高純度低不純物

・工業用NiVターゲットの純度は通常≧99.9%であり、半導体などのハイエンド用途では99.99%以上に達することができる。

・厳しく不純物（例えばFe、Al、Si、C、N、O、Sなど）を制御し、一部の用途にはいくつかの不純物≦10 ppm、さらにはU、Th≤1ppb。  

　２）優れたバリア性能

・集積回路において、NiV合金は接着層（Ni）とバリア層（V）の両方として、金（Au）とシリコン（Si）との低融点AuSi化合物の形成を防止し、界面安定性を向上させることができる。

　３）マグネトロンスパッタリングに適した低磁性

・合金は強磁性が弱く、スパッタリング中の異常放電を低減し、薄膜均一性を向上させる。

　４）高密度と均一微細構造

・真空溶融（VIM/VAR）または熱間等方圧加圧法（HIP）プロセスによって、ターゲット材の気孔がなく、結晶粒の細粒（≦100μm）を確保し、スパッタ効率を高める。

　５）高温耐性と耐食性

・バナジウムの添加は合金の耐高温性能を高め、650°C以上の高温環境（航空エンジンコーティングなど）に適している。

２．主な用途

　１）半導体と集積回路。

　２）太陽光発電

　３）航空宇宙と高温コーティング

・航空エンジンのタービン翼、ノズルなどの高温部品のための保護コーティング、高温酸化と熱腐食に耐える。

　４）光学と表示技術

・Low-E（低放射）ガラスコーティングに用い、断熱性と光透過率を高める。

・タッチパネル（ITOガラス）における導電性及び光学特性の向上。

　５）原子力・エネルギー産業

・放射線に強く、高温強度要求が高い原子炉部品に使用されます。

・高温配管、バルブなどの石油化学プラントに耐食性保護を提供する。