ニッケルクロム(NiCr)ターゲット

ニッケルクロム(NiCr)ターゲット
ニッケルクロム(NiCr)ターゲット

マグネトロンスパッタリング、電子ビーム蒸発などの薄膜堆積技術に広く応用されている高性能合金ターゲットであり、主にNiとCrが異なる割合で構成されている。

 

1.特性

 1)優れた耐高温性能

・高温環境下においても安定した機械的性質と抗酸化性を維持できるNiCr合金は、航空宇宙エンジンコーティングなどの高温用途に適している。

・クロムの添加により、合金の耐食性及び抗酸化性が向上する。

2)良好な抵抗特性

・高抵抗率、低抵抗温度係数、安定した感度係数を有し、精密抵抗薄膜の製造に適している。

3)高純度と均一性

・工業用NiCrターゲットの純度は99.9%以上に達することができ、一部の高純度ターゲットは99.99%に達することができる。

4)良好な機械性能

・耐摩耗性、耐食性コーティングの製造に適した比較的高い強度と靭性を有する。

5)カスタマイズ可能

・NiCr 20、NiCr 30、NiCr 40などのNi/Crスケールを必要に応じて調整し、さまざまなサイズと形状のカスタマイズをサポートします。

 

2.主な用途

 1)電子・半導体業界

・集積回路、薄膜抵抗、ひずみ計などの精密電子部品のための導電層またはインピーダンス層。

 2)光学と表示技術

・Low-E(低放射)ガラスコーティングに使用し、断熱性と光透過率を向上させる。

・レンズコーティングにおける反射の低減、光透過率の向上。

 3)航空宇宙と高温コーティング

・タービンブレード、エンジン部品のための高温保護コーティング。

 4)耐摩耗性及び耐腐食性コーティング

・切削工具、金型、機械部品の表面強化に応用し、耐摩耗性と耐食性を高める。

 5)医療機器

・その生体適合性と耐食性のため、外科手術器具と整形インプラントに使用される。

 6)抵抗と加熱素子 

・高精度抵抗性薄膜及び電熱デバイスを製造するために使用される。