高性能酸化物系セラミックス材料であり、独特な物理的及び化学的性質を有し、半導体、光電子、コーティング技術などの分野に

広く応用されている。

１．特性

　1）高い化学安定性

・常温で酸、アルカリなどの化学物質に対して極めて強い不活性を示し、腐食性環境に適している。

　2）優れた電気性能

・半導体絶縁層及びゲート誘電体の理想的な材料となるような高誘電率。

・電池やコンデンサなどのエネルギー貯蔵装置に適している良好な電気化学的安定性。

　3）高融点（~ 1512°C）

・PVD（物理蒸着）及びCVD（化学蒸着）などの高温プロセスに適し高温に耐える。

　4）優れた光学性能

・高屈折率、低分散特性であり、光学膜（フィルター、反射防止コーティングなど）に適している。

　5）高純度と緻密性

・純度は99.9%以上、密度は約4.47 g/cm³に達することができ、スパッタ薄膜の高品質を確保する。

２．主な用途

　1）半導体業界

・高誘電率（高−k）絶縁層を製造し、集積回路の性能を向上させるために使用される。

　2）光電子分野

・光通信デバイス（例えば、光導波路）、光検出器、ディスプレイパネル（例えば、OLEDタッチ層）。

　3）光学コーティング

・レンズコーティング、フィルター、低放射ガラス（Low-Eガラス）、熱放射を低減する。

　4）耐高温と防腐コーティング

・航空宇宙エンジンコーティング、化学プラント保護層。

　5）新エネルギー応用

・薄膜太陽電池の透明導電層、光電変換効率を高める。