重要なスパッタリングターゲット材料であり、主に高純度金属 Mnまたは Mn合金から作られ、半導体、磁気記憶、新エネルギーなどの分野に広く応用されている。

１．特性 

　１）高密度と均一性 

・マンガン（Mn）ターゲットは比較的高密度（~ 7.47 g/cm³）を有し、スパッタリング中の安定した原子流を確保し、

　均一高密度な薄膜を形成する。

・結晶粒径が均一（50μm未満）であり、スパッタリング中の欠陥を低減する。

　２）優れた熱伝導性 

・マンガン（Mn）ターゲットは熱伝導性が良好で、効果的に放熱でき、スパッタリング中のターゲットの過熱を防止し、成膜の安定性を高め　　

　ることができる。

 　３）高温安定性 

・マンガン（Mn）の融点は 1246°C に達し、高温スパッタリング環境下でも物理的及び化学的性質の安定性を維持することができる。

 　４）良好な電気化学的性質 

・マンガン（Mn）はより高い電気化学活性を有し、電池電極材料（例えば Mn酸リチウム電池）の製造に適している。

 　５）優れた磁気特性 

・マンガン（Mn）は強磁性であり、ハードディスクドライブHDDなどの高密度磁気記録媒体の薄膜堆積に使用できる。

 ６）耐食性 

・マンガン（Mn）は常温では酸化防止性が良いが、湿潤環境では酸化しやすく、真空または不活性囲気下で貯蔵し、使用する必要がある。

２．主な用途 

　１）半導体・マイクロエレクトロニクス

・集積回路用の導電層、磁性薄膜及びセンサの製造。

・銅マンガン（Mn）合金ターゲットは、半導体デバイスの導電性及び抗酸化性を最適化することができる。

　２）磁気ストレージ 

・ハードディスクドライブ（HDD）、磁気ランダムメモリ（MRAM）のための磁性薄膜堆積、記憶密度の向上。

　３）新エネルギー・バッテリ技術 

・マンガン（Mn）酸リチウム電池（LiMn₂O₄）正極材料の製造、電池エネルギー密度とサイクル寿命の向上。

・太陽電池中の透明導電性薄膜（TCO）。

　４）光学コーティング 

・LED、太陽電池、光学レンズ用の反射防止または高反射コーティング。

　５）表面工学 

・工具、航空宇宙部品などに使用される耐摩耗性、耐腐食性コーティング。

　６）ナノ材料研究 

・触媒、センシング、生物医学などの分野で使用される MnO、Mn₃O₄などのMn酸化物ナノ粒子。