コバルト（Co）ターゲット

重要なスパッタリング材料であり、高純度金属Coから作られ、その独特な磁気エネルギー、耐食性と高温安定性のため、多くのハイテク分野で広く応用されている。

１．特性

　１）優れた磁気エネルギー

・強磁性：Coは強磁性を有し、Curie温度は1121°Cまで高く、鉄（770°C）とニッケル（360°C）よりはるかに高い。

・高磁性結晶異方性：高密度磁気記録媒体と磁気センサに適している。

　２）高融点と耐高温性

・高温スパッタリングプロセスに適した1495℃までの融点。

・高温でも良好な機械的強度と化学的安定性を維持する。

　３）良好な耐食性

・常温で酸、アルカリなどの腐食性媒体に対して良好な抵抗力を有する。

・表面は緻密な酸化膜（CoO/Co 8323 O 8324）を形成しやすく、抗酸化能力を増強する。

　４）高純度と均一性

・工業級Coターゲットの純度は通常≧99.9%（3 N）であり、高純度Coターゲットは99.99%（4 N）以上に達することができる。

・結晶粒径が均一（30μm未満）であり、薄膜堆積の安定性と均一性を確保する。

　５）良好な導電性と熱伝導性

・電気伝導率は約1.6×10×S/mであり、電子部品の導電性薄膜の製造に適している。

・スパッタリング中の放熱を助ける約100 W／（m・K）の熱伝導率。

２．主な用途

　１）磁気記憶とセンサ

・ハードディスクドライブ（HDD）：磁気記録媒体の薄膜堆積に用い、記憶密度を高める。

・磁気ランダムメモリ（MRAM）：次世代不揮発性メモリに使用される強磁性層材料。

・磁気センサ：自動車の電子、工業検査用のホールセンサ、磁気抵抗センサなど。

　２）半導体とマイクロエレクトロニクス業界

・銅相互接続障壁層：Co薄膜は、銅（Cu）がシリコン基材に拡散するのを防止し、集積回路の信頼性を高めることができる。

・電極材料：先進プロセスチップ用のコンタクト層と相互接続材料。

　３）新エネルギーと電池技術

・リチウムイオン電池：LiCoO₂などのCo酸化物は、電池のエネルギー密度を高めるための正極材料の重要な成分である。

・燃料電池：Co系触媒を酸素還元反応（ORR）に用い、燃料電池性能を向上させる。

　４）光学・光電分野

・反射防止膜と高反射膜：Co膜は光学デバイス、太陽電池の反射層に用いられる。

・透明導電性フィルム：ディスプレイ及びタッチスクリーン用のCo添加酸化物フィルム。

　５）工業用コーティングと工具コーティング

・耐摩耗コーティング：工具、金型の使用寿命を延長するために使用する。

・防食層：Co合金めっき層は化学工業設備、海洋工事に用いられ、耐食性を高める。

　６）医療と生物材料

・医療用インプラント：Coクロム合金（例えばCoCrMo）は人工関節、歯科用インプラントに使用、優れた耐摩耗性と生体適合性を有する。

・MRI造影剤：磁気共鳴イメージング（MRI）のためのCo系ナノ粒子のコントラスト増強する。