アルミニウム（Al）とチタン（Ti）からなる合金スパッタリングターゲットであり、マグネトロンスパッタリング（PVD）、電子ビーム蒸着などの薄膜堆積プロセス。その独特な合金特性は、刃物コーティング、装飾膜、半導体、光学膜などの分野で重要な役割を果たしている。

１．特性

　１）高純度と低不純物

・工業級 AlTiターゲットの純度は通常≧99.9%、ハイエンド用途（例えば半導体）は99.99%以上に達することができる。

・酸素（O）、窒素（N）、炭素（C）などの不純物含有量を厳格に制御し、一部の応用には酸素含有量＜200 ppmを要求する。

　２）優れた硬度と耐摩耗性

・AlTi合金は、Al 3 Ti、AlTiなどの金属間化合物を形成し、高硬度（HV 800〜1200）を有し、AlTiNなどの工具コーティングに適している。

・窒素（Nガリウム）環境下でスパッタリングすることにより、超硬窒化 AlTi（AlTiN）コーティングを形成し、切削工具の寿命を大幅に向上

　させることができる。

　３）良好な耐食性

・チタンの添加はアルミニウムの耐食性を増強し、海洋環境、化学工業設備などの耐食層に適している。

　４）調整可能成分比率

・一般的な配合比：Al−10%Ti、Al−30%Ti、Al−50%Ti（原子比）は、硬度、導電性、スパッタリング性能にそれぞれの配合比で反映。

・アルミニウム高含有量（Al≧50%）ターゲットは真空誘導溶解を用いて生産することができ、チタン高含有量（Ti≧50%）は粉末冶金技術を　

　用いなければならない。

　５）高密度及び均一微細構造

・熱間等方圧加圧（HIP）または真空誘導溶解（VIM）プロセスを用いて、ターゲットの誘起密度＞98%、結晶粒の微細（<100μm）を確保

　し、スパッタ安定性を高める。

２．主な用途

　１）工具と金型コーティング

・切削工具（フライス、ドリル）のコーティングに使用し、AlTiNコーティングを形成し、耐摩耗性と高温安定性を向上させる。

・金型表面にAlTi合金をコーテイングし、耐摩耗能力を高め、使用寿命を延長する。

　２）装飾膜

・腕時計、ジュエリー、電子製品の装飾性コーティングに使用され、金属光沢と耐擦過性を提供する。

　３）半導体と電子業界

・集積回路（IC）の金属化層として、導電性と電気移動防止性能を向上させる。

・従来のAl−Si−Cu合金の代わりに、フラットパネルディスプレイ（TFT−LCD）における電極材料としての使用。

　４）光学コーティング

・Low-E（低放射）ガラスコーティングに使用し、断熱性と光透過率を向上させる。

・レンズ、太陽電池における反射防止膜または導電層としての機能。