材料 Materials · 2025/06/18
バッキングプレート、ターゲット材にはネジ穴がないため、ボンデイング材を使って両者を接着しますが、スパッタリングにターゲット材にプラズマが集中することにより発生する高温で熱負荷が大きくなるため冷却水により冷却する必要があります。...
材料 Materials · 2025/06/18
当社は長尺Max．3.8Mtrのロータリーターゲット製作が可能です。 それにより下記のロータリーターゲットのメリットをより大きくすることが出来ます。 1.材料利用率向上 平面ターゲットが使用済みとなる前にその材料の20～30％しか使用しないが回転式ターゲットでは その数字は70～80％となる。...
