当社は長尺Max．3.8Mtrのロータリーターゲット製作が可能です。
それにより下記のロータリーターゲットのメリットをより大きくすることが出来ます。
1.材料利用率向上
平面ターゲットが使用済みとなる前にその材料の20～30％しか使用しないが回転式ターゲットでは
その数字は70～80％となる。
侵食がシリンダーの周囲で均等に起こるからだ。無駄な角がなく、不均一な摩耗もない。
実際に使用される材料にお金を払っているのです。
2.均一性の向上
ロータリーターゲットの回転運動はスパッタされたフラックスを均一にし、光学、半導体、
または精度が重要な多層アプリケーションにとっても有効です。
3.パーティクルと欠陥の減少
平面ターゲットは、深い溝（レーストラック）ができ、パーティクルを剥がし、膜の欠陥をもたらします。
回転ターゲットは、よりスムーズに磨耗するため、パーティクルが少なく、膜の欠陥が減少します。
4.長寿命、ダウンタイムの低減
ターゲット材がより均一に摩耗します。したがって下記のメリットをもたらします。
・交換間隔の延長
・生産停止の減少
・長時間の稼働でも安定した状態
年中無休の生産や、より高いアウトプットを求める場合に有効です
5.ハイパワープロセスに最適
高出力スパッタリングでは、優れた熱制御が要求されます。
回転ターゲットは低融点材について通常、高温導電性接着剤を使用しており、負荷状態でも良好に保持される。